PDS型软X射线潘宁源

特点:

应用领域:

介绍

PDS型软X射线潘宁源是一种连续放电型光源，广泛用于极紫外光刻、显微镜、望远镜、光谱仪的校正准直和等离子体诊断等。PDS利用高强度永磁体约束阴极发射出的电子，这样可以得到高能量的电子，从而电离流入的气体和溅射出的阴极材料，激发软X射线波段的特征谱线。 用户只需向PDS接入冷却水和供放电用的气体，以及一个高压电源（>2KV, >0.5A)。PDS可以采用不同的阴极材料并使用不同的气体，从而得到多种特征谱线组合。最常使用的阴极材料是铝和镁。

PDS带有3英寸快速连接法兰，安装拆卸都不需要使用螺钉。开始点火时需要的真空度大约为2X10^-2 torr, 然后将真空度降低到稳定使用时的10^-4 到10^-5 torr。 通常情况下为维持这个真空度，真空泵应选用抽真空速度每秒150升。

性能

谱线 (Å); 红色为高强度谱线

Magnesium 119 120 125 130 133 138 140 147 161 165 171 180 182 187 232 234

Aluminum 86 89 91 94 100 104 108 112 117 124 130 160 170 232 234

Neon 204 208 212 215 218 223 228 242 251 267 283

Oxygen 242 249 264 267 272 275 277 280 296 300 304

Argon 56 尽管氬本身没有太多特征谱线，但使用氬作为电子的提供者，可以增加阴极材料谱线的强度。

我们可以提供基于PDS和掠入射单色仪的整套系统、超高灵敏度二维成像光子计数探测器、航天级紫外软X射线探测器以及其它软X射线光学仪器和探测器。